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Paten(특허증 및 내재화 현황)


구분 명칭 등록(출원)번호 등록
정밀
가공
화학기상증착을 위한 공정 챔버용 서셉터의 리프트핀 가이드 롤러 부싱 10-2017-0117680 심사
로드용 가이드 롤러 10-2017-0043080 심사
반도체 증착 ALD 장비용 일체형 Sic DRIVING SPINDLE SHAFT 제 10-2145879호
(10-2019-0142880)
등록
코팅 질화물 반도체 결정성장장치 및 방법 제 10-2007418호
(10-2018-0087436)
등록
질화물 반도체 프리스탠딩 기판과 그 제조 장치 및 방법 제 10-2086725호
(10-2018-0089609)
등록
질화물 코팅막 형성 장치 및 방법 제 10-2179974호
(10-2018-0090593)
등록
수.산소 가스 화명 코팅 장비 및 내플라즈마 코팅 소재 제 10-2224583호
(10-2018-0089609)
등록
용사 재료 제조 방법 10-2019-0176101 심사
복합 자성 시트 및 그 제조 방법 10-2019-0018794 심사
전자
계측
비례 공압 제어시스템(EPC)용 Manifold Block 소재 열처리 제 10-2177001호
(10-2019-001999)
등록
공압 제어용 Manifold 및 이를 이용한 공압 회로 제 10-2224583호
(10-2019-0046342)
등록
화학적 기계적 연마 공정(CMP)공정용 비례공압제어시스템 및 비례공압제어 방법 제 10-2068704호
(10-2019-0082464)
등록
※ 등록 : 8건 심사 : 4건 총 : 12건
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